USTER AFIS 杂质参数测试结果稳定性的研究

研究了USTERAFIS杂质参数测试稳定次数的问题，对8次实验313个不同工艺实验方案中生条的杂质参数的测试结果进行了CV％值分析，用统计学理论对部分实验结果进行了测试稳定次数的估算，得出了有关参数测试的稳定次数的估值大小。认为用AFIS杂质模块进行杂质测试时，采用10次测试是不准确的。其原因在于AFIS所取样品容量太低、杂质本身分布不均匀及实验取样过程中杂质的损失。