谈新一代MEMS振荡器pMEMS

过去数10年来，在几乎所有电子系统中，频率基准应用一直使用石英晶体谐振器及振荡器，因为石英晶体谐振器及振荡器稳定性好、电气性能卓越。为了克服性能限制并解决石英振荡器的可靠性问题，近几年来，人们一直试图用几种替代性产品来取代石英晶体，其中包括MEMs振荡器和CMOS振荡器。