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超高硬度纳米复合薄膜Ti-Si-N结构的研究进展

Research Progress on the Super Hard Nano Composite Films of Ti-Si-N Structure
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摘要 综述了Ti-Si-N超硬纳米复合薄膜结构形式的研究进展。介绍了研究者对Si原子在Ti-Si-N中形成的晶界是否为晶态的认识与研究,阐述了Si原子在Ti-Si-N中所形成的界面结构形式的研究现状以及Ti-Si-N薄膜沉积过程中的形成机制,并展望了Ti-Si-N超硬纳米复合薄膜今后的研究方向。 The research development of the super hard nano composite Ti-Si-N coating structure is reviewed. The crystalline or amorphous of Si in Ti-Si-N coating is introduced. The recent studies of interfaces structure in Ti-Si N coating and the formation mechanism of Ti-Si-N are summarized. Based on the summary, research direction of nano composite Ti-Si-N coating in the future are prospected.
作者 任元 刘学杰 谭心 郭金鸽 孙士阳
机构地区 内蒙古科技大学机械工程学院
出处 《材料导报（纳米与新材料专辑）》 EI CAS 2012年第2期94-97,共4页
基金 国家自然科学基金(50845065) 内蒙古教育厅科研基金(NJ06077) 内蒙古自然科学基金(2010Zd21) 内蒙古高等学校科学研究项目(NJ10103)
关键词 Ti—Si—N薄膜 纳米复合结构 界面结构 Ti-Si N coating, nano composite structure,interface structure
分类号 TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]
  • 相关文献

参考文献2

二级参考文献16

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共引文献24

材料导报（纳米与新材料专辑）
2012年 第2期

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