投影光刻机高速精密工作台自动补偿控制
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1毛谦渝.一种高速精密模拟信号传输器设计[J].现代电子技术,2006,29(4):9-10. 被引量：1
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2曹晔,刘波,开桂云,董孝义.光纤光栅微振动高速精密检测系统的研究[J].光电子．激光,2006,17(1):102-106. 被引量：8
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3我国首台高速精密永磁同步电主轴问世[J].起重运输机械,2005(12):34-34.
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4李东光,张国雄.高速精密激光干涉测量的研究现状及其关键技术[J].航空精密制造技术,1998,34(6):30-35. 被引量：9
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5丁宝焕.高速精密采校／保持放大器研究[J].混合微电子技术,2002,13(2):22-26.
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6董永谦,狄希远,张志耀,田芳.高速精密运动平台研制[J].电子工艺技术,2011,32(3):173-176. 被引量：6
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7洛轴集团攻克我国高速精密陶瓷球轴承制造难关[J].高科技与产业化,2005(5):57-57.
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8江卫华.直线电机在高速精密内雕机中的应用[J].电气自动化,2002,24(5):13-14. 被引量：1
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9我国高速精密数据磁力轴承研究取得初步成功[J].机电一体化,2005,11(5):41-41.
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10美国钛淦仪器公司(TEGAM)推出最新高速精密可编程微欧计[J].电子测量技术,2011,34(6):119-119.
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