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我国最新一代集成电路制造工艺研发取得突破性进展
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摘要
近年来,我们使用的电脑、手机等速度更快、耗电更省、成本更低,这有赖于集成电路制造工艺的不断进步。中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心在22nm技术代集成电路关键技术研发上取得了突破性进展,掌握这种最先进的集成电路制造工艺将有利于提升我国自主生产制造更加质优价廉的集成电路产品的能力。
出处
《电子工业专用设备》
2012年第12期55-55,共1页
Equipment for Electronic Products Manufacturing
关键词
集成电路制造工艺
研发中心
突破性
电子研究所
中国科学院
生产制造
技术
手机
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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