大行程微进给系统控制方法研究及仿真分析

为了解决宏/微驱动系统中大行程和高精度之间的矛盾,研制了一种基于摩擦工作原理的压电陶瓷驱动的新型大行程、高分辨率步进式微执行器,该微执行器的行程为300mm、位移分辨率为0.02μm。提出了带有变速积分环节的模糊控制策略,设计了带有变速积分的模糊控制器,并编制了控制算法的应用程序,采用Matlab软件的Simulink工具对所设计的控制策略进行了连续步进位移输出控制的仿真分析。