多晶硅氢化炉防接地改造

氢化工序是改良西门子法闭环生产多晶硅的重要工序,而氢化炉是热氢化工艺的重要设备,根据各多晶硅企业经验,电极接地时造成氢化炉不能长周期稳定运行的主要原因。本文以MSA氢化炉为例,分析氢化炉接地原因,并对氢化炉电极结构及防护部件提出改造方案,从而解决氢化炉频繁接地的问题。