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用于较高压力传感器的膜片设计与分析
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摘要
本文通过分析比较,提出了传统C型硅杯高压力传感器的设计方案及实验结果。
作者
孙富峰
机构地区
宝鸡市
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1991年第1期39-40,44,共3页
Semiconductor Technology
关键词
硅杯
压力传感器
膜片
设计
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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半导体技术
1991年 第1期
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