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真空微电子技术
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摘要
本文简要介绍真空微电子管的优越性及近两年来的水平,建议我们今后应做的几项工作。
作者
陈中洲
机构地区
锦州七七七厂高可靠产品研究所
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1991年第1期57-59,共3页
Semiconductor Technology
关键词
真空
微电子技术
微电子管
分类号
TN12 [电子电信—物理电子学]
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半导体技术
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