曲线拟合在半导体工艺中的应用

本文对半导体生产工艺中常用的几种图表式曲线进行曲线拟合,得出了比较理想的曲线函数形式,使得工艺计算准确、快速、简便,这些函数形式可以直接作为计算机工艺模拟的数学模型,且与实际符合得很好。