应用光电子谱研究Si/Co/Si系统的固相反应及CoSi_2的电子结构

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摘要本文介绍了利用俄歇电子能谱、X射线光电子谱和紫外光电子谱,对Si/Co/Si系统的固相反应形成物的组分、化学相和电子结构进行研究的结果。

作者王建明李观启关中亿黄美浅

机构地区广州华南理工大学物理系

出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1991年第4期56-60,共5页 Semiconductor Technology

基金国家自然科学基金

关键词硅化物光电谱电子结构固相反应

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半导体技术

1991年第4期

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