超薄膜SOI技术与亚微米VLSI

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摘要本文介绍了传统的体硅技术在亚微米VLSI中所遇到的限制,超薄膜SOI技术(Ultrathin Silicon-On-Insulator Technology)在小尺寸器件方面具有的特点和长处,讨论了它存在的问题。

作者陈军宁童勤义

机构地区东南大学微电子中心

出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1991年第6期5-9,共5页 Semiconductor Technology

关键词 VLSI 工艺 SOI技术微细加工薄膜

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半导体技术

1991年第6期

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