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热解氮化硼坩埚材料生长与性能
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1
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职称材料
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摘要
本文叙述了热解氮化硼(PBN)坩埚材料的生长机理与工艺,给出了PBN材料的显微结构照片、晶格参数、物理性能、化学性能、热性能及电学性能。
作者
赵凤鸣
机构地区
中国科学院金属研究所
出处
《半导体情报》
1991年第6期88-91,共4页
Semiconductor Information
关键词
氮化硼
坩埚材料
化学汽相沉积
分类号
TN304.054 [电子电信—物理电子学]
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余明,胡丹,朱刘,胡智向.
热解氮化硼材料制备方法以及性能研究[J]
.广东化工,2020,47(7):48-49.
1
义仡.
坩埚材料对液相外延GaAs的杂质影响[J]
.电子材料快报,1996(9):5-6.
2
孙士文,刘从峰,方维政,杨建荣.
采用不同材料坩埚对碲锌镉晶体质量的影响[J]
.激光与红外,2007,37(B09):924-927.
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3
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.建造师,2007(6):93-93.
半导体情报
1991年 第6期
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