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热解氮化硼坩埚材料生长与性能 被引量:1

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摘要 本文叙述了热解氮化硼(PBN)坩埚材料的生长机理与工艺,给出了PBN材料的显微结构照片、晶格参数、物理性能、化学性能、热性能及电学性能。
作者 赵凤鸣
出处 《半导体情报》 1991年第6期88-91,共4页 Semiconductor Information
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