分子束外延GaAs/AlGaAs材料及应用

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摘要利用国产MBE设备,我们研制了多种多用途的GaAs/AlGaAs器件结构材料,并制作出GaAs/AlGaAs量子阱激光器、GaAs/GaAlAs自电光效应器件(SEED)、GaAs/AlGaAs HEMT等多种器件。

作者曾一平孔梅影孙殿照段维新谢茂海李立康梁基本郑海群朱世荣黄运衡

机构地区中国科学院半导体所

出处《半导体情报》 1991年第6期4-6,共3页 Semiconductor Information

基金国家自然科学基金

关键词分子束外延 GAAS/ALGAAS 半导体

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半导体情报

1991年第6期

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