类金刚石薄膜碲镉汞红外器件钝化膜的研究

采用等离子增强化学气相法（ＰＥＣＶＤ）在碲镉汞（ＭＣＴ）衬底上沉积出纳米团聚的类金刚石薄膜（ＤＬＣ）。用原子力显微镜（ＡＦＭ）和侧向力显微镜（ＬＦＭ）和对ＤＬＣ和ＭＣＴ表面形貌进行表征；用俄歇电子能谱（ＡＥＳ）和ＤＬＣ／ＭＣ 面附近各元素含量的分布进行分析研究。结果表明：当膜厚达到２５ｎｍ以上，这种ＤＬＣ膜就能够有效地抑制ＭＣＴ中ＨｇＴｅ的分解和Ｈｇ与Ｔｅ的外扩散。ＡＦＭ和ＬＦＭ的观察结果表明。