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摘要 锗烷气体的提纯收集系统和方法申请(专利)号:201110230532.0公开(公告)日:2012-03-28申请(专利权)人:福建博纯材料有限公司摘要:本发明公开了一种锗烷气体的提纯收集系统和方法,利用冷凝装置对含锗烷气体进行冷凝;利用排空装置将未被所述冷凝装置冷凝的气体排除;利用加注装置将被所述冷凝装置冷凝提纯的锗烷气体注入钢瓶.
出处 《低温与特气》 CAS 2012年第6期48-48,共1页 Low Temperature and Specialty Gases
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