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专利技术
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摘要
锗烷气体的提纯收集系统和方法申请(专利)号:201110230532.0公开(公告)日:2012-03-28申请(专利权)人:福建博纯材料有限公司摘要:本发明公开了一种锗烷气体的提纯收集系统和方法,利用冷凝装置对含锗烷气体进行冷凝;利用排空装置将未被所述冷凝装置冷凝的气体排除;利用加注装置将被所述冷凝装置冷凝提纯的锗烷气体注入钢瓶.
出处
《低温与特气》
CAS
2012年第6期48-48,共1页
Low Temperature and Specialty Gases
关键词
专利技术
冷凝装置
气体排除
气体注入
加注装置
锗烷
提纯
专利权
分类号
TQ028.8-18 [化学工程]
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低温与特气
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