摘要
阐述了采用直接沉积法制作MIM结构薄膜应变栅的工艺方法 ,对制备过程中所遇到的难点进行了分析并提出相应的解决方法 ,对所制作的薄膜应变栅式称重传感器进行了性能测试。
Introduce the way of making MIM strcuture film strain grid by directly depositing.Analyze the difficulty of meeting in making process.Put forward the relative solution.Test the property of weighing sensor with film strain grid.
出处
《电子工艺技术》
2000年第5期222-224,共3页
Electronics Process Technology
基金
福建省自然科学基金资助项目!(E9810 0 0 4)
