影响铝刻蚀质量的几个因素

讨论了刻蚀设备的本底真空度、腔室衬底温度对铝刻蚀速率、各向异性、选择性和光刻胶完整性等主要参数的影响。还了为队去残余物和防止Ａｌ浸蚀而采取的一些措施和方法。