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《真空镀膜技术》和《真空镀膜设备》出版发行

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摘要由东北大学张以忱主编的真空工程技术丛书：《真空镀膜技术》和《真空镀膜设备》两书由冶金工业出版社出版发行。《真空镀膜技术》主要内容：薄膜基础理论、真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜、真空离子镀膜、真空卷绕镀膜技术、

机构地区真空杂志社

出处《真空》 CAS 2013年第1期40-40,共1页 Vacuum

关键词真空镀膜设备真空镀膜技术出版发行真空蒸发镀膜冶金工业工程技术东北大学基础理论

分类号 TN305.8 [电子电信—物理电子学]

引文网络
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真空

2013年第1期

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