惯性技术之窗：微型惯性装置研发溯源

理查德·P·范曼（Richard P·Feynman I 1959年12月发表的“实际上大有余地”，预见制造技术从宏观到微观，将沿着由大到小的发展途径，及今后制造小型机械的一些问题。1983年范曼又发表了“实际上大有余地”的姊妹篇——“无限小的机械”，并举办了“微机械”演讲会，再次精辟描绘微世界的发展。范曼多次预言用牺牲层方法制作硅微电机、用静电启动、以及这类器件中磨擦和接触粘附的重要性等一系列问题。