摘要
为了克服传统的扫描探针显微镜 (SPM )在应用中的不足 ,采用微石英晶振来取代传统SPM的具有复杂结构的微悬臂和激光位移检测装置 ,使成本极大地下降 .通过对锯齿型光栅试件的检测 ,证明这种检测方法是可行的 .同时在微石英晶振前端安装不同种类的细针 ,可实现STM ,AFM ,MFM与EFM的测量 。
A complicated cantilever and optical detection device are placed by 1?MHz quartz resonator in SPM. It made SPM simple and cheap. It is shown that this measurement method is feasible. STM, AFM, MFM and EFM is integrated on a single instrument for many parameters measurement by changing the tip and some modules.
出处
《华中理工大学学报》
CSCD
北大核心
2000年第5期1-3,共3页
Journal of Huazhong University of Science and Technology
基金
高等学校博士学科点专项科研基金!(970 4870 7)
