高能量分辨率的μ-XRF实验分析

由Ｘ射线聚焦透镜联合Ｘ射线机形成的Ｘ射线微束与平面晶体波长色散位置灵敏谱仪（ＰＳＳ）构成的高能量分辨率的μ－ＸＲＦ（ｍｉｃｒｏ－Ｘ－ｒａｙ ｆｌｕｏｒｅｓｃｅｎｃｅ）分析实验装置取得初步实验结果在实验中，得到被分析元素的计数率与Ｘ射线机功率成线性增长， Ｔｉ Ｋα和 Ｃｒ Ｋα的能量分辨率分别达到 １６．６和 ２３．６ ｅＶ并能分辨开不锈钢中 Ｃｒ Ｋβ和 Ｍｎ Ｋα峰，和同步光微束与 ＰＳＳ结合的结果相比较，表明用这装置实现高能量分辨率的元素分析是可行的．同时讨论了目前存在的问题及解决的可能性。