TiN/NbN纳米多层膜的界面结构与超硬度效应
被引量：2
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2000年第4期431-432,共2页
Journal of Chinese Electron Microscopy Society
参考文献2
-
1[1] Shinn M,Barnet S A. Appl.Phys.Lett.,1994,64(1):61-63.
-
2[2] Selinder T I,Sjostrand M E,Nordin M,et al. Surface and Coatings Technology,1998,105:51-55.
同被引文献16
-
1Dumkum C, Grant D M, McColl I R. [J]. Diamond Relat Mater, 1997,6(5-7) :802-806.
-
2Bonetti L F, Capote G, Santos L V,et al. [J]. Thin Solid Films, 2006,515 : 375 -379.
-
3Utsumi T, Oka Y, Fujiwara E,et al. [J]. Phys Res B, 2007,257:706-709.
-
4Cristescu R, Patz T, Narayan R J ,et al. [J]. Applied Surface Science, 2005,247 (1-4) : 217 -224
-
5Peters A M, Nastasi M. [J]. Surface and Coatings Technology,2003,167(1):11-15.
-
6Zhang W, Tanaka A, Wazumi K,et al. [J]. Diamond Related Materials, 2004, 13: 2166-2169.
-
7Mosaner P, Bonelli M, Miotello A. [J]. Applied Surface Scinece, 2003, 208-209:561-565.
-
8Zhang W, Tanaka A,Xu B S,et al. [J]. Diamond & Related Materials, 2005, 14:1361-1367.
-
9Xu Junhua, Li Geyang, Gu Mingyuan. [J]. Thin Solid Films, 2000, 370:45-49.
-
10Holmberg K, Ronkainen H, Matthews A. In Proc First World Tribology Congress[C]. London: UK, 1997. 251- 266.
二级引证文献19
-
1孙丽丽,代伟,张栋,汪爱英.Cr掺杂及Cr过渡层对类金刚石薄膜附着力的影响[J].中国表面工程,2010,23(4):26-28. 被引量：22
-
2任毅,周家斌,付志强,王成彪,吕建国,于翔,彭志坚.纳米多层超硬膜力学性能研究进展[J].金属热处理,2007,32(5):6-9. 被引量：8
-
3董磊,刘广庆,孙延东,龚杰,刘孟寅,李德军.TiB_2/Si_3N_4纳米多层膜的制备及其结构和性能分析[J].天津师范大学学报（自然科学版）,2010,30(1):29-32. 被引量：3
-
4汪蕾,董师润,尤建飞,喻利花,李学梅,许俊华.Ti(C,N)复合膜和TiN/Ti(C,N)多层膜组织和显微硬度[J].材料热处理学报,2010,31(2):113-118. 被引量：15
-
5刘翊,范真,丁建宁,凌智勇,程广贵,蒋楠楠.硅掺杂类金刚石薄膜微米尺度摩擦性能研究[J].功能材料,2010,41(5):759-762. 被引量：1
-
6聂朝胤,安藤彰朗,潘婧,贾晓芳.电弧离子镀CrSiN薄膜的内应力控制与厚膜化[J].材料热处理学报,2010,31(10):119-123. 被引量：1
-
7谷坤明,吕乐阳,毛斐,虞烈,汤皎宁.厚度对DLC薄膜内应力的影响研究[J].功能材料,2011,42(B02):102-105. 被引量：7
-
8王广海,李国新,焦清介.陶瓷基体表面粗糙度对Ni-Cr薄膜换能元性能的影响[J].兵工学报,2011,32(5):548-553. 被引量：2
-
9黄江涛,谷坤明,毛斐,虞烈,汤皎宁.Ti/Ti-类金刚石多层膜的制备与表征[J].物理学报,2012,61(8):452-460. 被引量：5
-
10王广海,于晓艳,李国新,焦清介.Effect of Substrate Surface Roughness on Properties of Ni-Cr Alloy Thin Film[J].Defence Technology（防务技术）,2012,8(1):41-46.
-
1李戈扬,赖倩茜,虞晓江,顾明元.TiN/NbN纳米多层膜的微结构与超硬度效应[J].上海交通大学学报,2002,36(5):730-732. 被引量：4
-
2许俊华,李戈扬,吴桢干,顾明元,戴嘉维.NbN/TaN超晶格薄膜的界面结构[J].电子显微学报,2000,19(4):435-436. 被引量：1
-
3祝颖,徐丹,李全军,陈洪斌.研究简报Nb_2N_3的力学和电子性质的第一性原理[J].吉林大学学报（理学版）,2012,50(1):118-121.
-
4楚山.反应磁控溅射沉积氮化铌薄膜[J].等离子体应用技术快报,1995(2):4-5.
-
5赖倩茜,虞晓江,戴嘉维,李戈扬,宁兆元.TiN/NbN纳米多层薄膜的交变应力场和超硬效应[J].真空科学与技术,2002,22(4):313-316. 被引量：6
-
6李戈扬,许俊华,田家万,金燕萍,戎咏华.X射线能量色散谱表征纳米多层膜的调制结构[J].上海交通大学学报,2000,34(8):1097-1100.
-
7徐益,钟富平,黄楠.纳米多层膜的界面微结构与超硬度[J].功能材料,2004,35(5):541-544. 被引量：5
-
8王静,何建立,李文治,李恒德.IBAD合成CN_x/NbN纳米多层膜[J].材料研究学报,1998,12(5):543-545. 被引量：3
-
9李婧,史生才.太赫兹频段氮化铌超导隧道结混频特性研究及天文应用[J].天文学报,2010,51(1):103-104.
-
10李戈扬,施晓蓉,张流强,许俊华,李鹏兴,顾明元.TiN/AlN纳米多层膜的调制结构研究[J].电子显微学报,1998,17(5):543-544.
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