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SEM中用表面电子束激励势法研究半导体特性
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作者
朱世秋
РАУЭ.И.
胡问国
机构地区
云南大学
莫斯科大学
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2000年第4期577-578,共2页
Journal of Chinese Electron Microscopy Society
基金
国家科学技术部和国家自然科学基金委员会资助研究项目
关键词
SEM
表面电子束激励势法
半导体特性
分类号
TN304 [电子电信—物理电子学]
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参考文献
1
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0
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0
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0
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0
参考文献
1
1
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1
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3
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4
刘静,舒挺,李志强.
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被引量:3
电子显微学报
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