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SEM中用表面电子束激励势法研究半导体特性

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作者朱世秋 РАУЭ.И. 胡问国

机构地区云南大学莫斯科大学

出处《电子显微学报》 CAS CSCD 2000年第4期577-578,共2页 Journal of Chinese Electron Microscopy Society

基金国家科学技术部和国家自然科学基金委员会资助研究项目

关键词 SEM 表面电子束激励势法半导体特性

分类号 TN304 [电子电信—物理电子学]

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参考文献1

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电子显微学报

2000年第4期

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