半导体和集成电路无损显微分层内窥的新方法被引量：1

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作者肖玲李亚文梁竹关李萍徐晓华王建周开邻 РАУЭ.И. 胡问国

机构地区云南大学物理系昆明物理研究所

出处《电子显微学报》 CAS CSCD 2000年第4期585-586,共2页 Journal of Chinese Electron Microscopy Society

基金国家科学技术部国家自然科学基金委员会云南省应用基础研究基金委员会资助研究项目

关键词半导体材料集成电路无损显微分层内窥法

参考文献1

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电子显微学报

2000年第4期

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