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薄膜形貌的AFM观察
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9
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职称材料
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作者
张平余
刘维民
薛群基
机构地区
中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2000年第4期593-594,共2页
Journal of Chinese Electron Microscopy Society
基金
国家自然科学基金资助项目 !(5 9735 110 )
关键词
薄膜形貌
AFM
纳米材料
分类号
O484 [理学—固体物理]
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