摘要
介绍了Mo2 C膜表面粗糙度的测量结果 ,引入晶粒边界修正 ,对Mo2 C膜的表面快速粗糙化现象给予理论解释 .
The roughness of Mo\-2C film surface is measured and the results are given.By introduction of crystalline boundary correction,the rapid roughening phenomenon is explained theoretically.
出处
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第7期1335-1343,共9页
Acta Physica Sinica
关键词
MO2C膜
快速粗糙化
粗糙化指数
Mo\-2C thin film, rapid roughening, roughness exponent