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LED湿法清洗设备CDS设计 被引量:6

Design of LED Wet Cleaning Equipment CDS
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摘要 介绍了LED湿法清洗设备CDS的组成及工作原理,对化学液配、补液的实现方法进行了探讨,给出了利用流量传感器提高配、补液精度的解决方案。 This paper introduces the composition and working principle of the LED wet cleaning equipment CDS, discusses the realization methods of chemical proportioning and rehydration, gives solution to improve proportioning and rehydration accuracy using flow sensor
作者 祝福生
出处 《电子工业专用设备》 2013年第1期43-45,65,共4页 Equipment for Electronic Products Manufacturing
关键词 集中供液系统(CDS) 泵浦输送 双套管 Chemical dispense system (CDS) Pumping transfer Double contained
  • 相关文献

参考文献2

二级参考文献3

  • 1彭志辉,黄其煜.半导体代工厂的特气供应系统探讨[J].半导体技术,2005,30(8):38-40. 被引量:12
  • 2China fab update[J].半导体国际,2006,(6).
  • 3The international technology roadmap for semiconductors/environmental,safety and health and factory integration sections Jose:Semiconductor Industry Association,2001.

共引文献5

同被引文献18

引证文献6

二级引证文献5

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