基于质量流量计的多点多浓度气体配制研究

主要介绍了基于质量流量计的多点多浓度气体配置系统，可以配置出用于标定精密仪器时用的多点多浓度气体。主要介绍了其基本结构及工作原理，通过对气体分割器准确度的考察，表明这种方法在设备成本、重复性以及精确性上较以往体积流量都有较大的改善。