Tunability Analysis of Fabry-Perot Cavity in Micro Optical Electromechanical System
Tunability Analysis of Fabry-Perot Cavity in Micro Optical Electromechanical System
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第F12期184-187,共4页
Acta Optica Sinica
关键词
微型光机电系统
空气层
波长
灵敏度
integrated optics
micro optical electromechanical systems
Fabry-Perot cavity
tunability
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