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基于MEMS和数字信号处理器的露点传感器设计 被引量:5

Dew point sensor design based on MEMS and digital signal processor
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摘要 提出一种基于MEMS传感器和数字信号处理技术的电容式露点传感器的设计,实现对大气环境的露点温度检测。利用24位Σ-Δ模数转换器对温度进行测量,并运用PID算法对多级半导体制冷器进行精确控制。经过光学冷镜式露点传感器的对比测试,验证了其露点测量误差小于0.4℃。该传感器体积小、功耗低、响应快,能够满足大气中水汽含量瞬态变化的测量要求,有望在气象观测领域获得应用。
作者 谢军 刘清惓
出处 《制造业自动化》 北大核心 2013年第3期133-135,138,共4页 Manufacturing Automation
基金 国家公益性行业(气象)科研专项重点项目(GYHY200906037 GYHY201106048) 国家自然科学基金项目(41075026 412475042) 江苏高校优势学科建设工程:"传感网与现代气象装备"项目 江苏省科技支撑计划重点项目(BE2011006)
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