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采用工件加振方式的微细超声加工特性的研究 被引量:16

采用工件加振方式的微细超声加工特性的研究
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摘要 通过以WEDG放电加工手段制作微细超声加工用工具 ,在采用工件加振方式的微细超声加工机上对碳酸玻璃、半导体硅等硬脆材料试件进行微孔加工的实验 ,来探讨在某一特定加工条件下工具材料、工件材料、工件的振幅、加工静载荷、磨料悬浮液浓度、工具长度及工件尺寸等重要因素对加工速度、工具损耗率的影响 ,为微细超声加工技术的实用化提供参考依据。 Experiments were made on a ultrasonic machining tool with work piece adhered to ultrasonic transducer head,to machine micro holes on hard and brittle materials such as soda glass and Si,to study the effects of tool materials,work piece materials ,amplitude,machining load,slurry concentration ,tool length and the size of work piece on machining rate and wear ratio.In this experiment,the micro tool was made through WEDG.
出处 《电加工与模具》 2000年第3期29-32,共4页 Electromachining & Mould
  • 相关文献

参考文献3

  • 1江头快.マイク口超音波加工法の开凳:〔学位论文〕东京:东京大学.1998.
  • 2江头快.增沢隆久,藤野正俊.マイク口超音波加工の研究.1997年度精密工学会春季大会学术讲演会讲演论文集,1997.
  • 3增隆久.マイク口超音波加工:脆性材料のマイク口三次元形加工(第一回).超音波TECHNO,1996(9)

同被引文献186

引证文献16

二级引证文献97

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