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预处理气氛对电子束蒸发制备YBCO薄膜性能和结构的影响

Effect of pre-annealing on microstructure and properties of YBa2Cu3O7-x films prepared by E-beam coevaporation
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摘要 采用先电子束沉积后退火的两步法制备YBCO超导薄膜;根据薄膜的超导临界电流密度、X射线衍射(XRD)和扫描电镜(SEM)的测试结果,研究了不同预处理气氛对YBCO薄膜结构、表面形貌及超导性能的影响。 YBCO superconducting films were prepared by the BaF2 process.In this process,the precursor films were deposited onto substrate by an electron beam co-evaporation technique.The effect of the pre-annealing atmosphere was investigated by characterization of YBCO films using XRD,SEM and Jc-scan systrm.
出处 《低温与超导》 CAS 北大核心 2013年第2期28-31,共4页 Cryogenics and Superconductivity
基金 自然科学基金(10921062 10502051)资助
关键词 YBCO 电子束沉积 超导薄膜 预处理 YBCO Superconducting films Pre-annealing Electron beam co-evaporation
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