厚、薄膜电阻激光快速微调技术被引量：4

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摘要详细介绍了激光微调厚薄膜电阻的基理、激光调阻系统的构成、激光器选择、光束定位扫描系统及实时检测原理,并给出了调阻过程中各种相关参数.

作者张景旭田兴志

机构地区中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

出处《光机电信息》 2000年第7期23-26,共4页 OME Information

关键词集成电路激光微调激光调阻薄膜电阻厚膜电阻

同被引文献20

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光机电信息

2000年第7期

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