期刊文献+

离子注入金属饱和注量及浓度分布的计算和实验研究 被引量:2

THE PARAMETER CALCULATIONS FOR RANGE AND CONCENTRATION DISTRABUTION OF Ti IMPLANTATION IN STEEL TAKING ACCOANT INTO SPUTTERING AND EXPERIMENTS
下载PDF
导出
摘要 Ti 注入钢的射程参数(1~1000keV)是用 TRIM87程序计算而得到的.考虑到高注量注入溅射效应的影响,利用 Schuilz 模型计算了 Ti 注入钢和 Al 中浓度分布.对此模型中饱和注量与离子射程的关系提出了修正.给出了表面浓度与射程关系表示式.为了提高注入效率,节省注入时间,利用这些修正式能方便地给出饱和注量和注入元素浓度分布.计算结果与低温下注入的实验结果相符合,而与加温(400℃)注入的实验结果偏离较大.也考虑了注入合金择优溅射和注入效率的问题. The parameter calculations of range are carried out using TRIM87 program.The results are given.The Ti concentration distribution are given using Schuilz model taking account into sputtering.Specially,the rela- tions of saturation retaining dose in steel on ion energy and equation of surface concentration are given.The model is improved.The covenient equa- tion of retaining dose calculation is obtained.The results are agree with Reynolds experimemts.The sputtering of a binary compound is considered for the calculation.The total sputtering coebbicionr is obtained for separate sputtering eoebbicients.The calculation of implantation efficiency is shown also.
出处 《北京师范大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 1991年第3期301-307,共7页 Journal of Beijing Normal University(Natural Science)
基金 国家"863计划"资助项目
关键词 离子注入 溅射 浓度分布 Ti implantation H13 steel calculation of range concentration distrabution sputtering binary sputtering
  • 引文网络
  • 相关文献

参考文献3

  • 1姬成周,北京师范大学学报,1990年,26卷,3期,55页
  • 2张通和,核技术,1987年,10卷,2期,30页
  • 3张通和,微细加工技术,1986年,1期,24页

同被引文献10

  • 1Greer A L, Rutherford K L, Hutchings I M. Wear Resistance of Amorphous Alloys and Related Materials[J]. International Materials Reviews, 2002, 47 (2):89.
  • 2Miyagawa Y, Miyagawa S. Computer Simulation of Ion Beam Peneration in Amorphous Target [J]. J Appl Phys, 1983 ,54 (12) :7124.
  • 3徐淮琪 魏茂新.非晶硅靶中离子注入过程的蒙特卡罗模拟.山东大学学报:工学版,1986,(6):1-1.
  • 4Sigmund P. [J]. Physics Review, 1969, 184(2): 383.
  • 5Yamamura Y, Matsunami N, Iton N. [J]. Radiation Effects,1983, 71: 65.
  • 6豐晖原智瑞 中村定幸 铃木聪.材料とプロセス,1999,12(6):1179-1179.
  • 7铃木聪 中村定幸 大久保直人.材料とプロセス,1999,12(3):518-518.
  • 8桥本和明 户田善朝.无机マテリアル,1996,3:452-459.
  • 9山本正人,张唯敏.抗菌不锈钢[J].国外金属加工,1998(4):34-36. 被引量:3
  • 10王超,刘正民.Cu离子和Al离子注入M2钢表面改性研究[J].核技术,2001,24(4):295-299. 被引量:9

引证文献2

二级引证文献11

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部