国防科大创造“亚纳米”超精加工奇迹

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摘要 1纳米是一根头发丝的8万分之一，而小于1纳米则被称为亚纳米——这是国防科大精密工程创新团队存超精密光学零件加工中创造的“中国精度”，有力支撑了“极大规模集成电路制造装备与成套工艺”等3个国家重大科技专项创新突破，

作者李屏蒋亚宝

出处《金属加工（冷加工）》 2013年第4期1-1,共1页 MW Metal Cutting

关键词亚纳米超精加工国防大规模集成电路光学零件加工精密工程成套工艺制造装备

1张跃进.宝钢股份轧出国内最薄的冷轧带钢[J].中国钢铁业,2005(5):14-14.
2张跃进.宝钢股份轧出国内最薄的冷轧带钢[J].中国钢铁业,2005,0(6):39-39.
3郑翔.凸轮机构在QFP自动冲切成型系统中的应用[J].机械工程师,2017(5):118-120. 被引量：2
42006年～2010年钢铁产品技术方面的关键技术[J].新疆钢铁,2007(3):7-7.
5尤政.美国精密工程会议概述[J].国际学术动态,1996(4):52-53.
6补丛华,徐光,邹航,王翔.亚纳米超细贝氏体钢的组织和性能[J].材料热处理学报,2012,33(9):89-94. 被引量：2
7贺承明.昆明机床走极限加工之路[J].装备制造,2012(5):68-68.
8辛企明,蒋月娟.21世纪初光学零件加工技术的发展趋势[J].光电子技术与信息,2000,13(3):10-13. 被引量：10
9张鸿海,曹伟,江福祥,李文菊,周学夫,师汉民,陈日曜,熊良山.精密工程中应用的宽范围原子力显微镜的研究[J].航空精密制造技术,1995,31(1):11-14.
10廖文林,戴一帆.亚纳米精度光学表面离子束修形的基础研究[J].金属加工（冷加工）,2017(3):65-65.

金属加工（冷加工）

2013年第4期

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