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中国科学院上海硅酸盐研究所研发成功4英寸碳化硅单晶

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摘要中国科学院上海硅酸盐研究所立足自主研发，在掌握直径50．8mm（2英寸）、76．2mm（3英寸）碳化硅单晶生长技术之后，近日成功生长出直径100ram（4英寸）4H晶型碳化硅单晶。碳化硅单晶正朝着大尺寸的方向迅速发展。。

机构地区中国科学院上海硅酸盐所

出处《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第2期256-256,共1页 Journal of Synthetic Crystals

关键词中国科学院上海硅酸盐研究所碳化硅单晶自主研发单晶生长技术大尺寸直径晶型

分类号 TQ174.758 [化学工程—陶瓷工业]

引文网络
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人工晶体学报

2013年第2期

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