摘要
介绍了一个输出电压为 1 0 4V ,开关时间为 34ns的电子束曝光机束闸电路。
A beam blanking circuit with the output voltage of 104V and the switch time of 34ns, used in electron beam exposure machine, is introduced.
出处
《微细加工技术》
2000年第4期6-8,35,共4页
Microfabrication Technology
关键词
电子束曝光机
束闸电路
开关电路
electron beam exposure machine
beam blanking circuit
switch circuit
