用CO_2激光法合成SiC超细粉末

当前,SiC、Si_3N_4等陶瓷超细粉末作为烧结原料十分引人注目,CO_2激光法是合成这些陶瓷超细粉末比较新的方法。用这一方法合成SiC、Si_3^-N_4等陶瓷超细粉末已有一些报导,但是,大部分的试制是以SiH_4气体为原料,并且在减压的条件下进行反应。