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真空泵刷镀工艺分析

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摘要 存在大面积划伤、压伤、凹痕、砂眼等缺陷的机械零部件,其他修复手段难于解决,采用刷镀的方法可以进行修复。本文就美国某公司集成电路流水线真空泵端面凹坑的填补。
作者 吴学芝
出处 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 1991年第7期20-21,共2页 Materials Protection
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