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电解制硅研究进展

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摘要 电解制硅是投资可与电解制铝相比拟的制取高纯硅的新方法。电解硅是冶金工业、电子工业及能源工业上令人瞩目的新材料。本文在讨论电解制硅工业化的可能性的基础上,综述以硅石、氟硅酸盐为原料电解制品体硅及非晶态硅电沉积的研究进展。
作者 陈恕华
出处 《材料科学与工程》 CSCD 1991年第1期20-24,共5页 Materials Science and Engineering
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