国际半导体技术发展路线图（ITRS）2011版综述（5）

5路线图技术特征总表 背景 技术特征总表（Overall Roadmap Technology Characteristics，OTRC）是在制定路线图的过程中最先完成的部分，作为基础来指导国际技术工作组开展工作，完成他们各自章节的详细内容。这些表格同时也是在规划更新的过程中协调各工作组工作的重要手段，主要通过突出对比各个参数表不一致的地方来实现。