离子渗氮的工艺过程控制

离子渗氮即在真空、高电压状态下，失去电子的氮原子（即氮离子）向阴极方向以高速冲击，使处于阴极的工件迅速加热，并在一定温度范围内溅射至工件表面，并随之向内扩散，形成含氮合金化合物，达到氮化目的。