期刊文献+

改建CVD系统制备金刚石薄膜 被引量:3

下载PDF
导出
摘要 用一台常规的真空镀膜机改建为化学气相沉积 (CVD)系统 ,并用以制备了金刚石薄膜 .
机构地区 复旦大学物理系
出处 《物理实验》 2000年第4期3-5,共3页 Physics Experimentation
  • 相关文献

参考文献1

  • 1Ong TP,Chang RPH. Applied Physics Letters . 1991

同被引文献22

引证文献3

二级引证文献99

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部