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林德专利氟技术获得行业认证,将替代显示器制造所需的温室气体

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摘要 2012年12月13日,林德集团旗下负责全球电子业务的林德电子通过了韩国显示器行业协会(KDIA)的权威认证,在中国新兴的显示器行业中进一步巩固了其技术领先地位。现场产氟技术已被成功认定为可替代具有较高全球变暖潜值(GWP)的六氟化硫(SF。),该技术目前应用于TFT—LCD面板的干式蚀刻工艺。
出处 《现代显示》 2013年第1期42-42,共1页 Advanced Display
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