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日本产综研开发新型区熔法单晶生长技术

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摘要 日本产业技术综合研究所电子光技术研究部门开发山一种新型区熔法单品生长技术(LDFZ)。即使用奇数个激光二极管(LD),将原料棒的熔融区域进行集中均匀加热,
出处 《现代材料动态》 2013年第4期6-6,共1页 Information of Advanced Materials
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