世界300mm晶圆生产和450mm晶圆发展大势
被引量:1
摘要
300ram晶圆于世纪之交开始投入应用,至今已十年有余,近据市调公司IcInsights报告.今日世界300mm晶圆生产线产能主要掌控在6家存储器生产和代工厂商之手,2012年约占全部产能的74.4%.预期2013年仍将保持74%的水平。
出处
《电子产品世界》
2013年第4期6-6,共1页
Electronic Engineering & Product World
同被引文献13
-
1段海滨,王道波,黄向华,朱家强.基于蚁群算法的PID参数优化[J].武汉大学学报(工学版),2004,37(5):97-100. 被引量:51
-
2隋允康,宇慧平.响应面方法的改进及其对工程优化的应用[M].北京:科学出版社,2011:117-128.
-
3Samir T.Improving Wafer Temperature Uniformity for Etch Applications[D].2003:51-52.
-
4Hirasawa S,Maruyama S.Analysis of Gas Convection and Temperature Distribution in a Rotating Wafer in a Cylindrical Lamp Heating Apparatus[J].ASME 2002 International Mechanical Engineering Congress and Exposition:Heat Transfer,2002,(5):45-51.
-
5Wright D R,Hartman D C,Sridharan U C,et al.Low Temperature Etch Chuck:Modeling and Experimental Results of Heat Transfer and Wafer Temperature[J].Journal of Vacuum Science&Technology A:Vacuum,Surfaces,and Films,1992,10(4):1065-1070.
-
6Olson K A,Kotecki D E,Ricci A J,et al.Characterization,Modeling,and Design of an Electrostatic Chuck with Improved Wafer Temperature Uniformity[J].Review of Scientific Instruments,1995,66(2):1108-1114.
-
7Cominos P M N.PID controllers:Recent Tuning Methods and Design to Specification[J].IEE Proceedings-Control Theory and Applications,2002,149(1):46.
-
8Gaing Z.A Particle Swarm Optimization Approach for Optimum Design of PID Controller in AVR System[J].IEEE Transactions on Energy Conversion,2004,19(2):384-391.
-
9刘镇,姜学智,李东海.PID 控制器参数整定方法综述[J].电力系统自动化,1997,21(8):79-83. 被引量:58
-
10刘晓路,陈英武,荆显荣,陈盈果.优化拉丁方试验设计方法及其应用[J].国防科技大学学报,2011,33(5):73-77. 被引量:58
二级引证文献2
-
1赵洋,高渊,宋洁晶.干法刻蚀中晶圆表面温度控制研究[J].电子工业专用设备,2023,52(5):36-40. 被引量:1
-
2张硕,张爱华,董世杰,范狄庆,方宇.基于Smith模糊多级积分分离PID的加热盘温度控制[J].西北工业大学学报,2024,42(5):939-947.
-
1图说新技术未来发展大势[J].通讯世界,2005(5):56-56.
-
2把握3G 发展大势[J].新华商,2009(3):14-15.
-
32015年300mm晶圆生产还将翻番[J].电子产品世界,2011,18(11):5-5.
-
4近年半导体生产仍将以300mm晶圆为主[J].电子产品世界,2013,20(9):7-7.
-
5蒋楠.引领显示器发展大势 五代刀锋经典回眸[J].计算机与网络,2015,41(21):29-29.
-
6互联网电视已在全球发达地区兴起[J].实用影音技术,2009(10):38-42.
-
7第二届中国OTT TV峰会将于8月23日召开[J].世界宽带网络,2013,20(8):10-10.
-
8业内动态[J].世界广播电视,2008,22(5):12-12.
-
9MEMS火爆前景获代工厂钟情[J].集成电路通讯,2012,30(3):25-25.
-
10李璐.智能手机四核时代将至 微软欲借Windows 8统一多屏体验[J].通信世界,2012(8):31-31.