一种等离子体刻蚀机的传片系统设计

Development of a new type of transmission system for ICP etcher

为实现高效连续自动化生产,满足大规模工业化生产需求,本文研发设计了一种等离子体刻蚀机的新型传片系统,该传片系统可一次预装3盘、6盘或更多盘数晶片,并由全自动机械手自动传输,实现了多盘连续自动化刻蚀,提高了生产效率。