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真空纳米微电子结构自发射阴极的电磁场研究

Study of Electronmagnetic Fields of Nanomicroelectronic Structure Cathod with Autoemitting Electrons
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摘要 介绍了一种改进的“透镜”算法。用该算法和相应的实验研究了两种自发射阴极的静电场特性(尖锥直径为10^1nm),其电声放大系数达10^2。并研究了在阴极尖锥附近的电场强度与尖锥结构的关系;分析了表面粗糙程度的影响。最后所得的计算机算法和程序适用于研究任意开关的纳米尖锥阴极。 This paper presents an improved ALGOL of 'Lens'. Based on the ALGOL and relative experiments, the characteristics of two kinds of field emitting cathodes are studied, With diameters of pinnacle 101 um. Coefficient of magnification of electronic fields gets to 102. The relationship between the intensity of static electric fields and the Structure of pinnacle are investigated. The influence of roughness of the surface of cathodes is analyzed. The ALGOL and computer program are applicable to nanometer cathodes with any shape.
出处 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第5期531-534,共4页 Journal of University of Electronic Science and Technology of China
关键词 纳米技术 场致发射 阴极 电磁场 微电子结构 nanotechnology field emitting cathode computer simulation
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