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氦质谱检漏仪的进展及应用 被引量:1

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摘要 随着科学技术的发展,氦质谱检漏仪及其应用技术也在不断的发展和完善。一方面,检漏应用技术不断对检漏仪提出新的要求,迫使仪器自身更新;另一方面,检漏技术也在随时随地补充现有检漏仪在应用过程中存在的某些不足,因此两者的关系是相互补充、相互促进的。
出处 《世界电子元器件》 2000年第9期71-72,共2页 Global Electronics China
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