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氦质谱检漏仪的进展及应用
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摘要
随着科学技术的发展,氦质谱检漏仪及其应用技术也在不断的发展和完善。一方面,检漏应用技术不断对检漏仪提出新的要求,迫使仪器自身更新;另一方面,检漏技术也在随时随地补充现有检漏仪在应用过程中存在的某些不足,因此两者的关系是相互补充、相互促进的。
作者
周小弟
刘京龙
机构地区
中国科学院北京科学仪器研制中心
出处
《世界电子元器件》
2000年第9期71-72,共2页
Global Electronics China
关键词
氦质谱检漏仪
应用
仪表
仪器
分类号
TH843 [机械工程—精密仪器及机械]
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